扩散硅压阻式压力传感器

压力传感器分很多种，应变式、压阻式、电容式、压电式、谐振式、电感式等。目前在压力监测领域应用得比较多的主要是扩散硅压力传感器和陶瓷电容式压力传感器两种，工作原理是基于压阻效应，利用压阻效应原理，被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷)，使膜片产生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻值发生变化，利用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。

是一种利用电容敏感元件将被测压力转换成与之呈一定关系的电量输出的压力传感器。它一般采用圆形金属薄膜或镀金属薄膜作为电容器的一个电极，当薄膜感受压力而变形时，薄膜与固定电极之间形成的电容量发生变化，通过测量电路即可输出与电压呈一定关系的电信号。电容式压力传感器具有输入能量低，高动态响应，自然效应小，环境适应性好等特点。

1、压力传感器的特点有哪些

电传式压力表，里面有电位器，中位值随压力变化。接收端通过测量分压值，变换出压力大小隔膜式传感器，输出4～20mA电流，作为压力信号，在接收端变换。起点和终点值可调。1、扩散硅压力传感器扩散硅压力传感器其工作原理是被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷)，使膜片产生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻值发生变化，和用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。

2、请介绍一下扩散硅原理(在压力传感器中

能够用到硅材料的压力传感器应该是压阻式传感器，属于微型化的传感器。压阻效应任何一本传感器书中都会有介绍，我就不多说了。既然是压阻效应，就要在硅片上扩散电阻，也就是说在硅片上掺杂上别的材料，做出电阻来。一般来说P型电阻灵敏度高，必须将其扩散到N型衬底上。再详细点，就找本集成电路加工工艺的书。说到应用，在汽车、医疗、军事上都有用的，象恩德福克公司、恩特兰公司、ICSensors公司等，都在做这类的传感器。

3、扩散硅压力传感器的制作流程及电路图

压力传感器有好多种,主要有:1)利用晶体的压电效应的效应的压力传感器2)利压力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器，而我们通常使用的压力传感器主要是利用压电效应制造而成的，这样的传感器也称为压电传感器。第一章传感器和测量的基本知识11测量的基本概念测量的概念，测量的方法，直接测量的几种方法，仪表的精确度与分辨率。§12传感器中的强性敏感元件什么叫弹性敏感元件、弹性敏感元件的弹性特性：刚度和灵敏度。

§13传感器的一般特性静特性：线性度、迟滞、重复性、灵敏度。动特性：传递函数和动态响应的物理概念，第二章电阻型传感器及应用21电阻丝电阻丝（热电阻）工作原理、热电阻材料及常用热电阻、普通工业用热电阻式传感器的简单结构（附热电阻丝参数表格）应用：主要讲测温，扩展到热电阻式流量计等。22电位器简单介绍结构、工作原理：主要介绍线性电位器的空载特性、阶梯特性、分辨率和阶梯误差，简单介绍负载特性和非线性电位器。